学历
博士，中国科学院金属研究所，1994年3月获工学博士学位。
硕士，吉林大学，材料科学与工程，1991年1月获工学硕士学位。
学士，吉林大学，材料科学与工程，1988年7月获工学学士学位。
工作经历
2003.01-至今，清华大学，精密仪器与机械学系，教授 021-
2002.04-2003.10，美国纳米传感器技术中心，助理教授
2000.09-2001.01，瑞士电子与微技术中心，访问学者
1998.09-1999.12，香港城市大学，访问学者
1996.04-2002.12，清华大学，精密仪器与机械学系，副教授
1994.04-1996.04，清华大学，机械工程博士后、讲师