女，教授级高工，博士生导师。1950年出生于黑龙江省鸡西市。1974年毕业于北京大学计算机系微电子学专业，之后留校任教至今。
闫桂珍教授70年代是研制我国第一块超大规模集成电路硅栅N沟道MOS 1024位随机存储器的主要参加人员,此项成果获第一届全国科学大会奖。80年代成功的设计和开发了一系列高速硅栅CMOS电路。获北京市科技成果三等奖。在国家"八五"攻关项目"多晶硅发射极超高速集成电路研究"中，作为子课题的负责人，完成了侧墙隔离、深槽刻蚀等国际先进水平的工艺技术；作为工艺技术负责人成功地开发了多晶硅发射级超高速双级集成电路的全套工艺技术，获国家"八五"攻关先进个人奖、信息产业部二等奖和北京大学一等奖等。1999年至2001年作为访问学者在香港科技大学参加MEMS化学气体传感器的合作研究，开发了一整套用表面微机械技术制造的气体传感器，研制出了性能优良的气体传感器和传感器阵列。目前的主要研究领域是微电子机械系统器件设计与制造技术，承担了国家微机械陀螺惯性传感器制造技术、体硅MEMS与CMOS集成等研究课题,并取得了优异的成果。