余志平（Yu Zhiping），男，清华大学教授、博士生导师, 清华大学微电子所副所长。1967年毕业于清华大学无线电电子学系（大学本科），1980、1985年分别获得美国斯坦福 (Stanford)大学电机工程系硕士、博士学位。现为IEEE高级会员,IEEE Transactions on IC CAD 杂志副主编，已发表学术论文170 篇，英文专著一本。主要研究方向包括：计算机辅助集成电路器件和电路模拟，硅CMOS射频(RF)器件模型和参数提取；纳米尺度MOS scaling；载流子量子输运模型及纳电子器件、结构物理模型和计算机模拟；基于物理级(即版图) 设计的射频及模拟/数字混合电路提取和验证软件开发；计算机器件、电路模拟算法研究。