1959年生。1982年在浙江大学获学士学位，1985年在哈尔滨工业大学获硕士学位，1989年在清华大学获博士学位。1985年8月到1998年1月在浙江大学信电系工作，1991年晋升副教授，1993年晋升教授，1994年聘为博导，1995和1996年曾应邀分别到香港科技大学和日本东北大学访问研究一年，1998年通过中国科学院“百人计划”到上海微系统与信息技术研究所主持MEMS方面的研究工作。