男，1969年11月出生，教授，MEMS研究所所长。1992年从北京大学计算机科学与技术系获得学士学位，1997年从北京大学微电子学研究所获得博士学位。1997至2002年在北京大学计算机科学技术系微电子所从事MEMS(微电子机械系统)研究工作。2000年8月应Norman.C.Tien教授之邀，到美国康奈尔大学作访问学者。从2001年8月，由于Norman.C.Tien教授调至加州大学戴维斯分校工作，也随之转到该校继续作访问学者。2004年8月返回北京大学微电子研究院继续从事教学和科研工作。