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汪家友老师介绍
姓 名： 汪家友
职 称： 教授、硕士生导师
简 介： 广西平乐人，1948年7月出生，西安电子科技大学微电子学院教授，硕士研究生指导教师。中国电子学会高级会员，中国真空学会高级会员。1975年毕业于西北电讯工程学院电真空器件专业，留校任教，主讲过"阴极电子学"、"电子测量技术"、"半导体材料"、 "微电子测试与分析"等多门课程。长期从事超大规模集成电路技术、新型半导体材料与器件等方面的科研和教学工作。
作为主持人和主要完成人承担完成科研项目12项，获得国家科技进步三等奖1项，省部级科技奖4项。在国内外重要学术刊物发表论文40余篇，EI检索20余篇。近年来承担完成的有关项目包括"ECR深亚微米刻蚀技术"、"微波ECRCVD设备"、"VLSI金属化互连系统应力迁移失效机理分析"、"硅基器件材料的超深亚微米刻蚀技术研究"、" 多层互连系统低K介质的可靠性研究"等。现从事新型微电子薄膜材料、微细加工技术、低温高密度等离子体源、等离子体应用技术等方面的研究。
名片信息：西安电子科技大学微电子学院 汪家友教授
地址 ：中国西安市太白南路2号 邮编：710071
电话：029－88202507 传真：029－88201641
Email：jywang@mail.xidian.edu.cn
Http://sme.edu.cn
School of Microelectroncs XIDIAN UNIVERSITY
Jiayou wang professor
Address: No.2 Taibai Sonth Road,Xi'an,China 710071
Tel:+86-29-88202507 Fax: +86-29-88201641
E-mail: jywang@mail.xidian.edu.cn
Http://sme.xidian.edu.cn
职 称： 教授、硕士生导师
简 介： 广西平乐人，1948年7月出生，西安电子科技大学微电子学院教授，硕士研究生指导教师。中国电子学会高级会员，中国真空学会高级会员。1975年毕业于西北电讯工程学院电真空器件专业，留校任教，主讲过"阴极电子学"、"电子测量技术"、"半导体材料"、 "微电子测试与分析"等多门课程。长期从事超大规模集成电路技术、新型半导体材料与器件等方面的科研和教学工作。
作为主持人和主要完成人承担完成科研项目12项，获得国家科技进步三等奖1项，省部级科技奖4项。在国内外重要学术刊物发表论文40余篇，EI检索20余篇。近年来承担完成的有关项目包括"ECR深亚微米刻蚀技术"、"微波ECRCVD设备"、"VLSI金属化互连系统应力迁移失效机理分析"、"硅基器件材料的超深亚微米刻蚀技术研究"、" 多层互连系统低K介质的可靠性研究"等。现从事新型微电子薄膜材料、微细加工技术、低温高密度等离子体源、等离子体应用技术等方面的研究。
名片信息：西安电子科技大学微电子学院 汪家友教授
地址 ：中国西安市太白南路2号 邮编：710071
电话：029－88202507 传真：029－88201641
Email：jywang@mail.xidian.edu.cn
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Jiayou wang professor
Address: No.2 Taibai Sonth Road,Xi'an,China 710071
Tel:+86-29-88202507 Fax: +86-29-88201641
E-mail: jywang@mail.xidian.edu.cn
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