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马春雨
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所在大学:大连理工大学
所在院系:材料科学与工程学院
所在地区:辽宁
所在城市:大连
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马春雨老师介绍
姓名:马春雨
办公室电话:84708380-8204
电子邮箱地址:chunyuma@dlut.edu.cn
主要学历及工作经历:
1991.9-1995.7 东北大学 材料科学与工程系,工学学士;
1995.7-1999.9 抚顺特殊钢股份有限公司技术中心,从事技术开发工作;
1999.9-2002.3 东北大学 材料与冶金学院,工学硕士;
2002.3-2006.1 大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,工学博士;
2006.1- 至今 大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,教师;
2006.11-2007.10 法国 贝尔福-蒙贝利亚尔技术大学,从事博士后研究工作。
研究领域(研究课题):
研究领域:主要研究离子束辅助沉积、等离子体薄膜合成和离子束薄膜合成的实验方法、制备技术以及薄膜的微观状态和宏观性能。目前主要从事介电薄膜材料和电解质薄膜的研究工作。
研究课题:反应活性等离子体对功能薄膜的生长行为和薄膜质量的影响,国家自然科学基金项目,项目负责人,25万元;
高k-ZrO2基薄膜制备工艺、生长特性和热学稳定性的研究,大连理工大学优秀博士毕业生科研资助项目,项目负责人,1万元。
指导硕、博士生研究方向:
1.等离子体合成功能薄膜
2.载能束合成薄膜及改性
出版著作和论文:
发表论文:
1.C.Y.Ma, F.Lapostolle, P.Briois, Q.Y.Zhang, Effect of O2 gas partial pressure on structures and dielectric characteristics of rf sputtered ZrO2 thin films, Applied Surface Science 253 (2007) 8718–8724. SCI、EI收录 影响因子:1.43
2.C.W.Sun, P.Xin, C.Y.Ma, Z.W.Liu, Q.Y.Zhang, Optical and electrical properties of Zn1-xZdxO films grown on Si substrates by reactive-frequency magnetron sputtering, Applied Physics letters 89 (2006) 181923. SCI、EI收录 影响因子:4.12
3.马春雨, 李智, 张庆瑜, 沉积工艺对高k栅介质ZrO2薄膜生长行为的影响, 无机材料学报, 2007, 22(4), 742-748. SCI、EI收录 影响因子:0.377
4.马春雨, 李智, 张庆瑜, 反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究, 无机材料学报, 2007, 22(6), 1206-1210. SCI、EI收录 影响因子:0.377
5.马春雨, 张庆瑜, 沉积温度对ZrO2薄膜结构及表面形貌的影响, 真空科学与技术学报, 2006, 9, 12-16. EI收录.
6.马春雨, 李智, 李勇, 张庆瑜, 氧分压对磁控溅射ZrO2薄膜生长特性的影响, 功能材料与器件学报, 2004, 10, 145-150. EI收录.
7.马春雨, 李智, 张庆瑜, 反应射频磁控溅射制备高k氧化锆薄膜及介电性能的研究, 功能材料, 2004, 35, 453-456. EI收录.
8.马春雨, 李智, 张庆瑜, 二氧化锆栅介质薄膜光学及电学特性研究, 功能材料, 2004, 35, 491-494. EI收录.
9.马春雨, 陈充林, 张庆瑜, 高k栅介质薄膜研究进展, 真空科学与技术学报, 2004, 12, 28-32. EI收录.
以上资料最后修改时间:
2007-8-29
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