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袁宁一老师介绍
系部名称
信息科学系
技术职称
副教授
姓 名
袁宁一
毕业学校
中科院上海微系统研究所
性 别
女
学历、学位
博士
出生年月
1966.2
毕业时间
2003.3
所学专业
固体物理与微电子学
联系电话
现研究方向
功能薄膜材料和非常态器件
研
究
方
向
简
介
先后研究了用纳米陶瓷和P(VDF-TrFE)复合的热释电材料,在多孔硅衬底、PET塑料衬底和聚酰亚胺衬底上制备了复合敏感膜单元热释电传感器;制备了纳米陶瓷/P(VDF-TrFE)复合敏感膜集成热释电线性阵列;选用PCLT/P(VDF-TrFE)复合敏感膜做热释电敏感膜,用PMOS场效应管作阻抗转换,用双16位移位寄存器作敏感元件信号读出的选址,用6微米厚的聚烯亚胺薄膜作热隔离层,用40纳米厚的Ni-Cr膜作面阵的上电极及吸收层,用三维集成CMOS 工艺研制了16×16 有机/无机复合敏感膜红外热释电面阵。其探测率峰值为2.6×107cmHz1/2W-1。
室温红外成像器件在军事和民用方面有十分重要的应用价值和迫切的现实要求。但我国受制于高性能的红外成像材料。近几年来,我们从与香港理工大学合作开始,致力于研究有实用价值的红外成像材料和非制冷焦平面阵列。
从2000年开始,在总结国内外氧化钒热敏薄膜制备技术特点的基础上,我们发展了一种用离子束增强沉积从V2O5粉末直接制备VO2薄膜的新方法,用纯度为99.7%的V2O5粉末压成溅射靶,在用Ar离子束溅射的同时,用氩氢混合束对沉积膜作高剂量离子注入,然后经适当的退火,获得热电阻温度系数(TCR)高达4%的VO2薄膜。
用于非制冷红外焦平面阵列的氧化钒薄膜电阻温度系数通常在2%~3%,而我们所用的新方法制备的VO2薄膜不仅TCR高,而且工艺性能好,结构稳定,IBED 薄膜基本能满足器件工艺的要求。正在研制氧化钒非制冷红外成像阵列。
利用溶胶-凝胶法在SiO2/Si 衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400oC的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、驰豫宽度为6.2°C的VO2多晶薄膜。
主
要
研
究
成
果
项目名称
项目情况(项目、获奖、鉴定、专利)
离子束增强沉积氧化钒薄膜制备及性能研究
物理和化学作用对离子束增强沉积制备二氧化钒薄膜的相关性
驻极体集成传声器研究
离子束增强沉积氧化钒敏感膜成象阵列研究
结构和掺杂对离子束增强沉积二氧化钒薄膜电学性能影响的动力学模拟
2000.7~2002.6,中国科学院离子开放实验室项目,排名第二
2002.1~2004.12,国家自然科学基金资助项目(10175027),排名第二
2002.10~2004.12,江苏省高校自然科学研究计划项目,主持
2003.1~2005.12,国家自然科学基金资助项目(60277019),排名第二
2004.5~2006.5,红外物理国家重点实验室开放课题,主持
主
要
论
著
论 文 名 称
发表期刊名称或出版单位
Thermal simulation of micromachined bridge and self-heating for uncooled VO2 infrared microbolometer
The large modification of phase transition characteristic of VO2 films on SiO2 substrates
Structure, electrical and optical properties of N-In codoped ZnO thin films prepared by Ion Beam Enhanced Deposition method
SiO2 film electret with high surface potential stability
Sensors and Actuators,2006
Thin Solid Films,2006
Journal of Crystal Growth, 2006
Applied Surface Science ,2005
Comparison of VO2 thin films prepared by inorganic sol-gel and IBED methods
离子束增强沉积VO2多晶薄膜的相变模拟
隧道穿透对Sol-gel多晶二氧化钒薄膜电阻率的影响模拟
Improve the charge stability of SiO2 films by plasma treatment and ion implantatio
The phase transition analysis of the VO2 thin films prepared by ion beam enhanced deposition method
等离子体处理提高SiO2薄膜驻极体的稳定性
离子束增强沉积VO2多晶薄膜的温度系数
Temperature sensitivity of the VO2 polycrystalline film resistance formed by modified ion beam enhanced deposition
离子束增强沉积二氧化钒薄膜的成膜机理
离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展
退火对IBED氧化钒薄膜结构和性能的影响
Formation mechanism of the VO2 polycrystalline film prepared by modifiedIBED
Anealing behavior of vanadium oxide prepared by ion beam enhanced deposition
Applied Physics A,2004
功能材料与器件学报
红外与毫米波学报
SPIE5774
SPIE5564
微细加工技术
物理学报
Applied Surface Science
微细加工技术
科学技术与工程
微细加工技术
SPIE5774
SPIE
离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数
IBED和Sol-grl制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响
侧孔式微麦克风设计及模拟
16*16纳米陶瓷/聚合物敏感膜热释电面阵研制
Valence reduction procedure from sol-gel V2O5 to VO2 thin films
Sol-gel VO2薄膜转换特性研究
Properties of PT/P(VDF-TrFE) pyroelelctric sensor based on plastic film substrates
Preparation of PCLT/P(VDF-TrFE) pyroelelctric sensor base on plastic film substrates
Preparation of 3D 256 elements PCLT/P(VDF-TrFE) infrared array
Influences of different substrates on the detectivity of pyroelelctric sensors
用离子束增强沉积从V2O5粉末制备高TCR VO2 薄膜
塑料衬底上复合敏感膜热释电传感器性能
热释电单元探测器的电压响应模拟
Switching Property of Sol-Gel Vanadium Oxide Thin Films
哈尔滨理工大学学报
哈尔滨理工大学学报
江苏工业学报
红外技术
Aplied surface science
物理学报
ISIF
Sensors and Actuators A
ISIF
ISIF
物理学报
压电与声光
电子器件
SPIE
氧化钒薄膜结构、性能及制备技术的相关性
256元集成热释电阵列红外成像信号的读出和检测
氧化钒薄膜成膜和取向研究
Properties of PT/P(VDF-TrFE) pyroelectric sensor based on porous SiO2 substrate
Properties of sol-gel PZT film based on Indium-Tin oxide substrate
A study of Indium doped Tin oxide as electrode of Ferroelectric films
Au/PLT/P t铁电薄膜电容电学性能
二氧化锡衬底上PZT薄膜的性能研究
广义Schwarzschild 几何的引力扰动
Normal-made frequencies of external perturbations in generalized Schwarzschild geometry
功能材料
传感技术学报
江苏石化学院学报
SPIE
Ferroelectrics
Ferroelectrics
固体微电子学研究与进展
江苏石化学院学报
物理学报
Chinese phys.lett.
信息科学系
技术职称
副教授
姓 名
袁宁一
毕业学校
中科院上海微系统研究所
性 别
女
学历、学位
博士
出生年月
1966.2
毕业时间
2003.3
所学专业
固体物理与微电子学
联系电话
现研究方向
功能薄膜材料和非常态器件
研
究
方
向
简
介
先后研究了用纳米陶瓷和P(VDF-TrFE)复合的热释电材料,在多孔硅衬底、PET塑料衬底和聚酰亚胺衬底上制备了复合敏感膜单元热释电传感器;制备了纳米陶瓷/P(VDF-TrFE)复合敏感膜集成热释电线性阵列;选用PCLT/P(VDF-TrFE)复合敏感膜做热释电敏感膜,用PMOS场效应管作阻抗转换,用双16位移位寄存器作敏感元件信号读出的选址,用6微米厚的聚烯亚胺薄膜作热隔离层,用40纳米厚的Ni-Cr膜作面阵的上电极及吸收层,用三维集成CMOS 工艺研制了16×16 有机/无机复合敏感膜红外热释电面阵。其探测率峰值为2.6×107cmHz1/2W-1。
室温红外成像器件在军事和民用方面有十分重要的应用价值和迫切的现实要求。但我国受制于高性能的红外成像材料。近几年来,我们从与香港理工大学合作开始,致力于研究有实用价值的红外成像材料和非制冷焦平面阵列。
从2000年开始,在总结国内外氧化钒热敏薄膜制备技术特点的基础上,我们发展了一种用离子束增强沉积从V2O5粉末直接制备VO2薄膜的新方法,用纯度为99.7%的V2O5粉末压成溅射靶,在用Ar离子束溅射的同时,用氩氢混合束对沉积膜作高剂量离子注入,然后经适当的退火,获得热电阻温度系数(TCR)高达4%的VO2薄膜。
用于非制冷红外焦平面阵列的氧化钒薄膜电阻温度系数通常在2%~3%,而我们所用的新方法制备的VO2薄膜不仅TCR高,而且工艺性能好,结构稳定,IBED 薄膜基本能满足器件工艺的要求。正在研制氧化钒非制冷红外成像阵列。
利用溶胶-凝胶法在SiO2/Si 衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400oC的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、驰豫宽度为6.2°C的VO2多晶薄膜。
主
要
研
究
成
果
项目名称
项目情况(项目、获奖、鉴定、专利)
离子束增强沉积氧化钒薄膜制备及性能研究
物理和化学作用对离子束增强沉积制备二氧化钒薄膜的相关性
驻极体集成传声器研究
离子束增强沉积氧化钒敏感膜成象阵列研究
结构和掺杂对离子束增强沉积二氧化钒薄膜电学性能影响的动力学模拟
2000.7~2002.6,中国科学院离子开放实验室项目,排名第二
2002.1~2004.12,国家自然科学基金资助项目(10175027),排名第二
2002.10~2004.12,江苏省高校自然科学研究计划项目,主持
2003.1~2005.12,国家自然科学基金资助项目(60277019),排名第二
2004.5~2006.5,红外物理国家重点实验室开放课题,主持
主
要
论
著
论 文 名 称
发表期刊名称或出版单位
Thermal simulation of micromachined bridge and self-heating for uncooled VO2 infrared microbolometer
The large modification of phase transition characteristic of VO2 films on SiO2 substrates
Structure, electrical and optical properties of N-In codoped ZnO thin films prepared by Ion Beam Enhanced Deposition method
SiO2 film electret with high surface potential stability
Sensors and Actuators,2006
Thin Solid Films,2006
Journal of Crystal Growth, 2006
Applied Surface Science ,2005
Comparison of VO2 thin films prepared by inorganic sol-gel and IBED methods
离子束增强沉积VO2多晶薄膜的相变模拟
隧道穿透对Sol-gel多晶二氧化钒薄膜电阻率的影响模拟
Improve the charge stability of SiO2 films by plasma treatment and ion implantatio
The phase transition analysis of the VO2 thin films prepared by ion beam enhanced deposition method
等离子体处理提高SiO2薄膜驻极体的稳定性
离子束增强沉积VO2多晶薄膜的温度系数
Temperature sensitivity of the VO2 polycrystalline film resistance formed by modified ion beam enhanced deposition
离子束增强沉积二氧化钒薄膜的成膜机理
离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展
退火对IBED氧化钒薄膜结构和性能的影响
Formation mechanism of the VO2 polycrystalline film prepared by modifiedIBED
Anealing behavior of vanadium oxide prepared by ion beam enhanced deposition
Applied Physics A,2004
功能材料与器件学报
红外与毫米波学报
SPIE5774
SPIE5564
微细加工技术
物理学报
Applied Surface Science
微细加工技术
科学技术与工程
微细加工技术
SPIE5774
SPIE
离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数
IBED和Sol-grl制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响
侧孔式微麦克风设计及模拟
16*16纳米陶瓷/聚合物敏感膜热释电面阵研制
Valence reduction procedure from sol-gel V2O5 to VO2 thin films
Sol-gel VO2薄膜转换特性研究
Properties of PT/P(VDF-TrFE) pyroelelctric sensor based on plastic film substrates
Preparation of PCLT/P(VDF-TrFE) pyroelelctric sensor base on plastic film substrates
Preparation of 3D 256 elements PCLT/P(VDF-TrFE) infrared array
Influences of different substrates on the detectivity of pyroelelctric sensors
用离子束增强沉积从V2O5粉末制备高TCR VO2 薄膜
塑料衬底上复合敏感膜热释电传感器性能
热释电单元探测器的电压响应模拟
Switching Property of Sol-Gel Vanadium Oxide Thin Films
哈尔滨理工大学学报
哈尔滨理工大学学报
江苏工业学报
红外技术
Aplied surface science
物理学报
ISIF
Sensors and Actuators A
ISIF
ISIF
物理学报
压电与声光
电子器件
SPIE
氧化钒薄膜结构、性能及制备技术的相关性
256元集成热释电阵列红外成像信号的读出和检测
氧化钒薄膜成膜和取向研究
Properties of PT/P(VDF-TrFE) pyroelectric sensor based on porous SiO2 substrate
Properties of sol-gel PZT film based on Indium-Tin oxide substrate
A study of Indium doped Tin oxide as electrode of Ferroelectric films
Au/PLT/P t铁电薄膜电容电学性能
二氧化锡衬底上PZT薄膜的性能研究
广义Schwarzschild 几何的引力扰动
Normal-made frequencies of external perturbations in generalized Schwarzschild geometry
功能材料
传感技术学报
江苏石化学院学报
SPIE
Ferroelectrics
Ferroelectrics
固体微电子学研究与进展
江苏石化学院学报
物理学报
Chinese phys.lett.
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